當廢氣處理設備實際運行的時候，介質阻擋放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發或發生電離形成活性基團，同時空氣中的氧氣和水分在電子的作用下也可產生大量的態氫、臭氧和羥基氧等活性基團，這些活性基團相互碰撞后便引發了一系列復雜的物理、化學反應。從活性炭體的活性基團組成可以看出，活性炭體內部富含很高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有活性基團發生反應，較終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。
廢氣處理設備啟動僅需要很短的時間升溫，達到熱平衡后可關閉電加熱裝置。濃縮+燃燒組合是針對大風量、低濃度的有用廢氣采用吸附循環的方法將其轉化為小風量、濃度好，以便達到能持續維持自熱燃燒的有用廢氣濃度，從而節約燃燒所需的能耗。濃縮+燃燒組合法主要有炭吸附濃縮+催化燃燒。工業上低濃度、大風量的VOCs的排放，直接進行催化燃燒和高溫焚燒需要消耗大量的能量，設備的運行成本高。濃縮+燃燒法組合工藝適合于大風量、低濃度或濃度不穩定情況下的廢氣治理，是目前我國噴涂、印刷等行業大風量、低濃度有用廢氣治理的主流技術。 廢氣處理設備的運行過程中的常見問題：
一、在工業生產過程中，排放的有用尾氣通過引風機進入設備的旋轉閥，通過旋轉閥將進入口氣體和出入口氣體分開。
二、在RCO廢氣處理設備運行過程中，應優化控制手段，在廢氣進爐膛前，盡可能除掉入口噴淋塔帶來的水分，減少水分汽化所需熱量；同時，還應優化進出風時間、保持燃燒室溫度、增加閥門密封度等。
三、還可在進氣風管采用計量泵與蒸發器組合的方式，人為控制一些不可套用的廢溶劑的蒸發，在廢氣VOC較低時增加VOC濃度，以達到不使用燃料就能維持正常燃燒的目的，從而減少燃料消耗。
四、廢氣繼續通過加熱區（上層，可采用電加熱方式或自然氣加熱方式）升溫，并維持在設定溫度；其再進入催化層完成催化氧化反應，即反應生成CO2和H2O，并釋放大量的熱量，以達到預期的處理效果。
五、經催化氧化后的氣體進入其它的陶瓷填充層，回收熱能后通過旋轉閥排放到大氣中，凈化后排氣溫度僅略高于廢氣處理前的溫度。
六、氣體起先通過陶瓷材料填充層（底層）預熱后發生熱量的儲備和熱交換，其溫度幾乎達到催化層（中層）進行催化氧化所設定的溫度，這時其中部分污染物氧化分解。
七、系統連續運轉、自動切換。通過旋轉閥工作，陶瓷填充層均完成加熱、冷卻、凈化的循環步驟，熱量得以回收。
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