沸石轉輪rto設備的特性適合處理大風量、低濃度、含多種成分的廢氣。VOCs廢氣通過疏水性沸石轉輪濃縮后，能被吸附于沸石中，達到凈化廢氣的目的。經過沸石吸附后的廢氣，去掉廢氣中揮發性的物，凈化后的廢氣直接通過煙囪排放到大氣中，轉輪持續以每小時1-6轉的速度旋轉，同時將吸附的揮發性物傳送至脫附區。于脫附區中利用一小股加熱氣體將揮發性物進行脫附，吸附了物質的轉輪在此區內脫附，吸附在轉輪上的物被分離、脫附，脫附后的沸石轉輪通過冷卻區再次旋轉至吸附區，持續吸附揮發性氣體。脫附過程中產生的廢氣送至焚化爐進行燃燒轉化成二氧化碳及水蒸氣排放至大氣中。沸石轉輪rto采用吸附-脫附-濃縮焚化三項連續程序。
沸石吸附轉輪組合為一中心軸承與軸承周圍之支撐圓形框架支撐著轉體，轉體由沸石吸附介質與陶瓷纖維制成。轉輪上包含用以分開處理廢氣及處理后釋出干凈氣體之密封墊，其材質為需能承受VOCS腐蝕性及高操作溫度之柔軟材料制成(一般為硅)。密封墊將蜂巢狀沸石吸附轉輪組合隔離成基本之吸附區及循環脫附區，但為提升轉輪之吸附處理能力，則常見于前二區間加一隔離冷卻區。通常吸附區為大，而脫附區及冷卻區則為兩個小且面積相等之處理側。有時為特別需求亦可分成愈多串聯區；而吸附轉輪由一組電動驅動設備用以旋轉轉輪，故轉輪處理時為可變速、且可控制每小時旋轉2至6轉之能力。 沸石轉輪主體為一個裝滿吸附劑的旋轉輪，其被劃分為3個區域，即吸附區、循環區和冷卻區。廢氣經鼓風機引入吸附區，其中的污染物被吸附，氣體得以凈化排出。隨后，吸附劑轉動到再區，在與高溫空氣接觸的過程中，VOCS被脫附下來并隨循環空氣流出，同時吸附劑獲得循環。循環后的吸附劑先經過冷卻區降溫，然后轉動到吸附區重新進行吸附。隨著轉輪的轉動，吸附劑周期性地進行吸附、脫附和冷卻，實現對廢氣的凈化。
沸石轉輪之處理單元如下：
1、沸石轉輪的機體是由一些特定的固體基材涂布上一層吸附劑粉末組成，基材是以陶瓷或玻璃或活性碳纖維經燒結所做成，其中陶瓷纖維因具備高溫、熱穩定性高、可水洗、不可燃及的特性而較受普遍使用，吸附劑的種類則視欲處理的氣體成分而有所不同，一般可采用活性炭、沸石等。轉輪厚度一般為25cm-45cm。
2、沸石轉輪之基質為陶瓷纖維表面涂布一層吸附劑，一般為活性炭或疏水性沸石，制成蜂巢狀圓形轉輪，再分為兩個區域，分別為吸附處理區及循環脫附區，但為提升轉輪之吸附能力，有時會設計于兩區之間多一個冷卻區，通常吸附區大，脫附區與冷卻區為兩個小且面積相等之處理區域。
3、熱回收設備：將VOCs燃燒或氧化后之干凈空氣其溫度高達500-700℃，將此部分空氣經由熱交換器將熱能加以回收，同時將干凈空氣溫度降低后將其導至轉輪脫附區為轉輪進行脫附作用；若溫度太高則轉輪可能發生燃燒，因此進入轉輪之溫度不可太高，一般會設置兩段熱回收設備并增設一鼓風機導入新鮮空氣與燃燒后之空氣混合，以控制脫附溫度在180-220℃之范圍內。為處理VOCs廢氣，除了沸石吸附濃縮轉輪焚化系統外，并可在制程端如光阻涂布機臺或去光阻制程廢氣出入口端加裝冷凝器，預先分流處理高沸點VOCs（如MEA、BDG、DMSO）。
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