電子廠車間廢氣處理設備工藝是利用催化燃燒的方法，將的氣體轉化為低毒的氣體。該裝置主體結構，由凈化裝置主機、引風機、控制系統三大部分組成。其中催化燃燒凈化裝置包括：除塵阻火器、熱交換器、預熱器、催化燃燒室。
電子廠車間廢氣處理設備是在催化劑的作用下，將VOCs在200～400℃的低溫條件下分解為CO2和H2O，是凈化碳氫化合物等廢氣、清理惡臭的手段之一。在廢氣特別是回收價值不大的廢氣凈化方面，比如化工、噴漆、絕緣材料、漆包線、涂料生產等行業應用較廣。設備性能穩定，能達到預期的效果。吸附床經過一段時間的運行后會達到吸附飽和。
將廢氣直接引入電子廠車間廢氣處理設備，在開始階段需通過電加熱器將其溫度升高至反應需要的溫度，廢氣在催化催化劑作用發生氧化放熱反應生成沒有危害的H2O和CO2，分解后釋放出的熱量通過熱交換器加熱進入催化床的廢氣，當廢氣的濃度達到相應的濃度時，放熱和熱交換所需要熱量達到平衡，無需電加熱，通過自身平衡處理掉濃度好廢氣。
電子廠廢氣處理成套設備借助催化劑可以使廢氣在較低的起燃溫度條件下，發生無焰燃燒，并氧化分解為CO2和H2O，同時放出大量熱。焚燒爐的運行能耗主要是電和燃料。一旦設備定型了，電耗基本恒定，風機可采用變頻控制省電，這里不做討論，主要討論燃料問題。因廢氣量不穩定、濃度不穩定，加上車間廢氣控制不好，所以在啟動及運行過程中，需要經常補充燃料（常用柴油、燃氣）以維持燃燒室溫度。燃料消耗多少，關鍵取決于蓄熱陶瓷的蓄熱能力，通常以能夠維持正常運行而不需補充燃料所需的較低VOC濃度來衡量能耗高低。此數值越低，則能耗越低。有力的的rto焚燒爐此數值可達450×10-6mg/L。另外，能量損耗主要是尾氣帶走的熱量和表面散熱損失，尾氣帶走熱量與廢氣量和進出入口溫差相關，尾氣溫度越低、進出入口溫差越大，則能耗越低。表面散熱損失體現在箱體表面溫度與環境的溫度差，保溫效果不錯則溫差小，散熱損失小。當然，能耗還有可能跟局部地方保溫薄弱及高溫氣體泄漏有關。
電子廠車間廢氣處理設備的燃燒方法及氧化反應如下：
一、起燃溫度低，能耗少，燃燒易達穩定，甚至到起燃溫度后無需外界傳熱就能完成氧化反應。
二、適應氧濃度范圍大，噪音小，無二次污染，且燃燒緩和，運轉費用不高，操作管理也很方便。
三、有用物質氧化發生在固體催化劑表面，同時產生CO2和H2O，并放出大量的熱量，因其氧化反應溫度低，所以地控制了空氣中的N2形成高溫NOx。
四、蓄熱燃燒是典型的氣-固相催化反應，它借助催化劑降低了反應的活化能，使其在較低的起燃溫度200～300℃下進行無焰燃燒。
五、凈化速率不錯，污染物（如NOx及不全部燃燒產物等）的排放水平較低。
六、而且由于催化劑有選擇性催化作用，有可能限制燃料中含氮化合物（RNH）的氧化過程，使其多數形成分子氮（N2）。
電子行業廢氣處理設備是一種能改變化學反應速度，而在反應前后其本身的化學性質沒有改變的物質。電子廠車間廢氣處理設備通常是由催化活性材料和催化載體構成。催化活性材料一般是金屬或金屬氧化物。其中貴重廢氣處理設備主要有鉑、鈀和釕等，普通金屬廢氣處理設備主要有銅、鉻、鎳、釩、錳、鐵、鈷等金屬及氧化物。催化載體是多孔材料，主要作用是使活性材料具有大的體表面積。
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